| Art der Veranstaltung | Labor |
| Niveaustufe | Grundstudium / Bachelor |
| Semester | Sommer- und Wintersemester |
Beschreibung der Lehrveranstaltung
Das IMPT bietet den Versuch "Untersuchung des Galvanischen Abscheideprozesses" im Rahmen der Kleinen Laborarbeit (ehem. AML) an. Im Rahmen dieses Versuches wird ein Wafer galvanisch strukturiert. Anhand der Abscheidungsparameter wird die theoretische Schichthöhe bestimmt und über taktile Messdaten mit der tatsächlichen Schichthöhe zu vergleichen. Ferner gilt es die Schichtdickenverteilung über der Waferoberfläche zu beurteilen.
Sommersemester 2025
| Anmeldung | digital in StudIP |
| Gruppenliste und Versuchsplanung | Infos auf StudIP |
| Versuchszeitraum | Individuell im Sommersemester |
| Skript | auf StudIP |
