Kleine Laborarbeit (ehem. AML)

Art der Veranstaltung Labor
Niveaustufe

Grundstudium / Bachelor

Semester Sommer- und Wintersemester

Beschreibung der Lehrveranstaltung

Das IMPT bietet den Versuch "Untersuchung des Galvanischen Abscheideprozesses" im Rahmen der Kleinen Laborarbeit (ehem. AML) an. Im Rahmen dieses Versuches wird ein Wafer galvanisch strukturiert. Anhand der Abscheidungsparameter wird die theoretische Schichthöhe bestimmt und über taktile Messdaten mit der tatsächlichen Schichthöhe zu vergleichen. Ferner gilt es die Schichtdickenverteilung über der Waferoberfläche zu beurteilen.

Die aktuellsten Infos zum Labor auf StudIP:

Sommersemester 2025

Anmeldung 07. - 11. April 2025
Gruppenliste und Versuchsplanung

25. April 2025

Versuchszeitraum 28. April - 18. Juli 2025
Skript ab 15. April auf StudIP