| Art der Veranstaltung | Labor |
| Niveaustufe | Hauptstudium / Master |
| Semester | Sommersemester |
| Creditpoints | 4 CP |
Beschreibung der Lehrveranstaltung
Das IMPT bietet das Mikrotechniklabor im Rahmen des Masterstudiengangs Nanotechnologie an.
Inhalt dieses Labors ist die Durchführung einer beispielhaften Prozesskette zur dünnfilmtechnischen Fertigung von Mikrobauteilen, anhand welcher ein Verständnis für die grundlegenden Prozesse und Verfahren der Mikrotechnologie vermittelt werden soll.
Dabei werden die Verfahren UV- und Elektronenstrahllithografie, und galvanische Abformung von den Studierenden unter Aufsicht eigenständig ausgeführt. Die herstellten Mikrobauteile werden im Anschluss mit den Analyseverfahren REM und EDX untersucht und bewertet
Allgemeine Informationen
Die Versuche werden im Mechanik- sowie Reinraumlabor des IMPT, An der Universität 2, Garbsen (Produktionstechnisches Zentrum Hannover, PZH) durchgeführt. Treffpunkt ist am Versuchstag zur jeweils angegebenen Zeit im Projektraum des IMPT (Raumnummer 8113.11.19) schräg gegenüber dem Sekretariat des IMPT (1. Etage).
