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Institut für Mikroproduktionstechnik
 
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Publikationen

Publikationen

Fachzeitschriften

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Microfabrication of Alkali Vapor MEMS Cells for chip-scale atomic clock. / Kazakin, A.; Kleimanov, R.; Komarevtsev, I. et al.
in: Journal of Physics: Conference Series, Jahrgang 2103, Nr. 1, 012188, 14.12.2021.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

Towards a Highly Sensitive Piezoelectric Nano-Mass Detection: A Model-Based Concept Study. / Twiefel, Jens; Glukhovskoy, Anatoly; de Wall, Sascha et al.
in: Sensors, Jahrgang 21, Nr. 7, 2533, 04.04.2021.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

Substrate modification influence on properties of nanocomposite based on TiO2 and gold nanoparticles. / Mishin, M. V.; Vorobyev, A. A.; Kondrateva, A. S. et al.
in: Journal of Physics: Conference Series, Jahrgang 1236, Nr. 1, 012025, 06.2019.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

The mechanism of charge carrier generation at the TiO2—n-Si heterojunction activated by gold nanoparticles. / Mishin, Maxim V.; Vorobyev, Alexander A.; Kondrateva, Anastasia S. et al.
in: Semiconductor Science and Technology, Jahrgang 33, Nr. 7, 075014, 11.06.2018.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

Bistable arch-like beams with modulated profile as perspective supporting structures of a microelectromenchanical actuator. / Enns, Y. B.; Pyatishev, E. N.; Glukhovskoy, A.
in: Journal of Physics: Conference Series, Jahrgang 917, Nr. 8, 082013, 23.11.2017.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

Feasibility of Round Window Stimulation by a Novel Electromagnetic Microactuator. / Van Drunen, Wouter Johannes; Mueller, Mathias; Glukhovskoy, Anatoly et al.
in: BioMed Research International, Jahrgang 2017, 6369247, 29.10.2017.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

Investigation of intracochlear dual actuator stimulation in a scaled test rig. / Van Drunen, Wouter J.; Lachheb, Sarra Kacha; Glukhovskoy, Anatoly et al.
in: Current Directions in Biomedical Engineering, Jahrgang 3, Nr. 2, 09.2017, S. 119-122.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

Intracochlear Stimulation of the Basilar Membrane. / van Drunen, Wouter J; Hofmann, Viktor; Twiefel, Jens et al.
in: Biomedizinische Technik, Jahrgang 61, Nr. s1, 28.09.2016, S. 179-199.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

Semiconductor-superlattice parametric oscillator as a subterahertz and possible terahertz radiation source. / Renk, Karl F.; Rogl, Andreas; Stahl, Benjamin I. et al.
in: Advances in OptoElectronics, Jahrgang 2007, 54042, 19.04.2007.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Peer-Review

Nonequilibrium spectroscopy of inter- and intraband transitions in quantum dot structures. / Vorobjev, L. E.; Glukhovskoy, A. V.; Danilov, S. N. et al.
in: Materials Science Forum, Jahrgang 384-385, 01.01.2002, S. 39-42.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

Injection lasers based on intraband carrier transitions. / Towe, E.; Pal, D.; Vorobjev, L. E. et al.
in: Materials Science Forum, Jahrgang 384-385, 2002, S. 209-212.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

Near- and mid-infrared spectroscopy of InGaAs/GaAs quantum dot structures. / Shalygin, V. A.; Vorobjev, L. E.; Glukhovskoy, A. et al.
in: NANOTECHNOLOGY, Jahrgang 12, Nr. 4, 12.2001, S. 447-449.

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Konferenzaufsatz in Fachzeitschrift › Forschung › Peer-Review

Konferenzbeiträge, Konferenzbände, Sammelwerke, Berichte und Bücher

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Manufacturing of a Reluctance Actuator for Use as a Hearing Implant in the Middle Ear. / Müller, Eileen; Adamscheck, Marco (Mitwirkende*r); Fischer, Eike Christian (Mitwirkende*r) et al.
2023. Postersitzung präsentiert bei MikroSystemTechnik Kongress 2023, Dresden, Deutschland.

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung

Simulation-based Design of a Magnetostrictive Middle Ear Actuator. / Adamscheck, Marco; Fischer, Eike; Müller, Eileen et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2023 - Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Nachhaltigkeit und Technologiesouveranitat, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2023. S. 503-508.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Tiefziehen mit integrierter induktiver Flanscheinzugssensorik in Dünnschichttechnik: Schlussbericht vom 28.02.2022 zu IGF-Vorhaben Nr. 20468 N : Berichtszeitraum: 01.03.2019 bis 31.08.2021. / Fünfkirchler, Timo; Pfeffer, Chris; Micke-Camuz, Moritz et al.
Düsseldorf: Forschungsvereinigung Stahlanwendung e.V. (FOSTA), 2022. (Forschung für die Praxis / Forschungsvereinigung Stahlanwendung e.V; Band 1217).

Publikation: Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Sonstiger Bericht › Forschung

Development of a Polyimid Membrane for Electromagnetic Middle-Ear Actuators. / Glukhovskoy, Anatoly; Müller, Eileen; Prediger, Maren S. et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2021. S. 186-189 (MikroSystemTechnik Kongress 2021: Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und ihre Anwendungen - Innovative Produkte fur zukunftsfahige Markte, Proceedings).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Proof of Concept: Glass-Membrane Based Differential Pressure Sensor. / Glukhovskoy, Anatoly; Prediger, Maren Susanne; Schäfer, Jennifer et al.
2021 IEEE 71st Electronic Components and Technology Conference (ECTC). IEEE, 2021. S. 1563-1570 (Proceedings - Electronic Components and Technology Conference; Band 2021-June).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

The concept of a large working stroke reluctance zipper actuator. / Glukhovskoy, Anatoly; Wurz, Marc Christopher.
MikroSystemTechnik Kongress 2019: Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration - Saulen der Digitalisierung und kunstlichen Intelligenz, Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2019. S. 506-509.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

A laser-based, in-line chlorine dioxide concentration sensor. / Wurz, Marc Christopher; Fischer, Eike Christian; Holz, Stephanie et al.
2018. Beitrag in AST - Symposium on Automated Systems and Technologies 2018.

Publikation: Konferenzbeitrag › Paper › Forschung

A micromechanical gyroscope with bistable suspension of microdrive. / Pyatishev, E.; Enns, Y.; Komarevtsev, I. et al.
2017 24th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems, ICINS 2017 - Proceedings. Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc., 2017. 7995646.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutte. / Wurz, Marc Christopher; Pyatishev, E.; Glukhovskoy, Anatoly et al.
Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017. 2017.

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung

Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter. / Pyatishev, E.; Wurz, Marc; Enns, Y. et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2017. S. 519-522 (MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Mikroaktorik für ein Taktiles Display. / Fischer, Eike; Glukhovskoy, Anatoly; Schmelt, Andreas et al.
MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings. VDE Verlag GmbH, 2017. S. 515-518 (MikroSystemTechnik Kongress 2017 "MEMS, Mikroelektronik, Systeme", Proceedings).

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Sammelwerk/Konferenzband › Aufsatz in Konferenzband › Forschung › Peer-Review

Patente

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VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN EINER KONZENTRATION. / WURZ, Marc, Christopher (Erfinder*in); Glukhovskoy, Anatoly (Erfinder*in); Schnebeck, Thorsten (Erfinder*in) et al.
Patent Nr.: EP3746773. Dez. 09, 2020.

Publikation: Schutzrecht/Patent › Patent

Letzte Änderung: 12.07.24 Druckversion

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