Unser Hauptaugenmerk der Forschungsaktivitäten liegt im Entwurf und der produktionsorientierten Fertigung von Mikro-Elektromechanischen Systemen (MEMS) für Applikationen in der Quantentechnologie, der industrienahen Sensorik und der Biomedizintechnik. Dabei liegen die Kernkompetenzen des Instituts in der Dünnfilmtechnologie, Strukturierungstechnologie, der Aufbau- und Verbindungstechnik, sowie der mechanischen Bearbeitung und Charakterisierung von MEMS und MEMS Materialien.

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Reinraum und Ausstattung